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ES660 靜電放電和閂鎖測(cè)試系統(tǒng)

ES660 靜電放電和閂鎖測(cè)試系統(tǒng)是一款先進(jìn)的多針自動(dòng)測(cè)試設(shè)備，旨在滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體測(cè)試的嚴(yán)格要求。這款多功能設(shè)備旨在無(wú)縫支持人體模型 (HBM)、機(jī)器模型 (MM) 和閂鎖測(cè)試，為評(píng)估集成電路 (IC) 和電子元件的可靠性和穩(wěn)健性提供全面的解決方案。
ES660-P1 配置支持多達(dá)1280個(gè)引腳， 非常適合測(cè)試具有大量連接的復(fù)雜 IC 和電子元件。從而縮短測(cè)試時(shí)間并提高生產(chǎn)率。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時(shí)間：2025-03-13
  • 訪  問(wèn)  量：897
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詳細(xì)介紹

ES660 靜電放電和閂鎖測(cè)試系統(tǒng)

1. 描述

ES660 系列 靜電放電和閂鎖 (LU) 測(cè)試系統(tǒng)是一款先進(jìn)的多針自動(dòng)測(cè)試設(shè)備，旨在滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體測(cè)試的嚴(yán)格要求。這款多功能設(shè)備旨在無(wú)縫支持人體模型 (HBM)、機(jī)器模型 (MM) 和閂鎖測(cè)試，為評(píng)估集成電路 (IC) 和電子元件的可靠性和穩(wěn)健性提供全面的解決方案。ES660為ES612A系列的升級(jí)版，有更高的配置選擇。

ES660-P1 配置支持多達(dá)1280個(gè)引腳， 非常適合測(cè)試具有大量連接的復(fù)雜 IC 和電子元件。其高引腳數(shù)容量可確保準(zhǔn)確高效地評(píng)估大型設(shè)備，從而縮短測(cè)試時(shí)間并提高生產(chǎn)率。

若需求更高的引腳數(shù)，ES660-P1配置可以升級(jí)為ES660-P2 (最多2560引腳)。

2. 特征

  • 兼容多種測(cè)試方法和標(biāo)準(zhǔn)

  • 高度靈活的偏置和引腳數(shù)配置能力

  • 自動(dòng)化測(cè)試效率

  • 擁有先進(jìn)的控制和監(jiān)控

  • 泄漏和直流掃描

  • 數(shù)據(jù)分析

  • 多放電頭，軟件自動(dòng)切換

3. 應(yīng)用

  • 半導(dǎo)體器件 ESD 測(cè)試

  • HBM 模塊符合 ANSI/ESDA/JEDEC JS-001 、 MIL-STD-883E、AEC Q100-002

  • MM模塊符合ANSI/ESDA SP5.2

  • 閂鎖測(cè)試符合JEDEC JESD78

  • 瞬態(tài)閂鎖符合 ANSI/ESD SP5.4.1

4. 規(guī)格


ES660基礎(chǔ)單元

參數(shù)ES660單位備注
觸摸屏5inch
尺寸480 X 497.5 X 265mm
重量28kg完整安裝
ESD 和 LU 波形可選無(wú)源電壓和電流探頭

支持的示波器Keysight、Tektronix、LeCroy、Rigol的主流型號(hào)
可定制
支持的 SMUKeysight、Tektronix、LeCroy、Rigol的主流型號(hào)
可定制
支持的電源Keysight、Tektronix、LeCroy、Rigol的主流型號(hào)
可定制

HBM 人體模型選項(xiàng)

（ANSI/ESDA/JEDEC JS-001）

參數(shù)ES660-P1-HBM8ES660-P1-HBM10單位備注
輸出電壓±10～8000±10～10000V
放電RC值C: 100 pF ± 10%, R: 1.5k? ± 1%

短路負(fù)載峰值電流Ips0.67 ± 10 % 每 kVA
短路負(fù)載上升時(shí)間trs2 < trs < 10ns
短路負(fù)載衰減時(shí)間tds130 < tds < 170ns
短路振鈴trs< Ips 的15%

500Ω負(fù)載峰值電流IprIpr/Ips ≥ 63%

500Ω負(fù)載上升時(shí)間trr5 < trr < 25ns
最快脈沖速度10個(gè)/秒
同時(shí)脈沖數(shù)目>=8
512引腳以上

MM機(jī)型選項(xiàng)

（ANSI/ESD SP5.2）

參數(shù)ES660-P1-MM2ES660-P1-MM4單位備注
輸出電壓±10 ~ 2000±10 ~ 4000V
放電RC值C: 200 pF, R: 0 ?

短路負(fù)載峰值電流Ip11.75±10% 每 100V

短路負(fù)載Ip2Ip1的67% ~ 90%

短路負(fù)載脈沖周期tpm 66 < tpm < 90

500Ω負(fù)載峰值電流Ipr0.85 – 1.2
@400 V條件符合標(biāo)準(zhǔn)
500Ω負(fù)載I1000.23 – 0.4
@400 V條件符合標(biāo)準(zhǔn)
最快脈沖速度10個(gè)/秒
同時(shí)脈沖數(shù)目>=8
512引腳以上


DC & 閂鎖選項(xiàng)

（JEDEC JESD78F.01）

參數(shù)ES660-P1-LU備注
預(yù)處理向量可≥ 20 MHz，256K 深度外部設(shè)置
V/I 4線開爾文測(cè)量是
DUT V/I 總線電源3+1、5+1、7+1支持DC源外部擴(kuò)展
LU 波形捕獲是
矩陣最大DC電壓200V
SSR 矩陣最大DC電壓 (V)100V
引腳最大DC電流 2A
DC通道最大電流15A
默認(rèn)閂鎖源最大電壓>= 150V最大限流1.2 A
默認(rèn)閂鎖源最大電流>= 10A最高電壓6 V


TLU 瞬態(tài)閂鎖選項(xiàng)

（ANSI/ESD SP5.4.1）

計(jì)劃閂鎖瞬態(tài)脈沖源的硬件支持：

ES622 (TLP/ VF–TLP ), EOS -500 (EOS), LVS-500 (LVS), MM


5. 訂購(gòu)信息


編號(hào)型號(hào)描述
基本單元選項(xiàng)
1.1ES660-P1-BU基于繼電器的 HBM/MM/LU ATE 系統(tǒng)基礎(chǔ)單元
1.2ES660-P1-HBM8HBM模型測(cè)試選項(xiàng)，電壓至8 kV
1.3ES660-P1-HBM10HBM模型測(cè)試選項(xiàng)，電壓至10 kV (停產(chǎn))
1.4ES660-P1-MM2MM模型測(cè)試選項(xiàng)，電壓至 2 kV
1.5ES660-P1-MM4MM模型測(cè)試選項(xiàng)，電壓至4 kV (停產(chǎn))
1.6ES660-P1-LU閂鎖測(cè)試選項(xiàng)（軟件）
1.7ES660-P1-TLU瞬態(tài)閂鎖測(cè)試選項(xiàng)（軟件 – TLP, EOS）
1.8ES660-TFM溫度控制模塊
繼電器卡及DC偏置選型
2.1ES660-P1-R64B4擴(kuò)展繼電器卡，64引腳，3+1 偏置
2.2ES660-P1-R64B6擴(kuò)展繼電器卡，64引腳，5+1偏置
2.3ES660-P1-R64B8擴(kuò)展繼電器卡，64引腳，7+1偏置
直流、漏電和 閂鎖 脈沖源選項(xiàng)
3.1ES660-PSMU2漏電\DC\LU 源：雙通道脈沖 SMU (210V/1.5A)
3.2ES660-SMU1漏電\直流源：?jiǎn)瓮ǖ?SMU (200V/1A)
3.3ES660-PSU1直流電源： 靈活通道 PSU（ 32V/3A X 2 Ch + 6V/5A X 1 Ch 或 70V/3A X 1 Ch，或 32V/6A X 1 Ch + 6V/5A X 1 Ch）
3.4ES660-PSU2直流電源：3 通道 PSU（60V/3A X 2 Ch+5V/3A X 1 Ch，或125V/3A X 1 Ch）
3.5ES660-PSU3直流電源：高電流 PSU (20V/20A X 1 Ch )
3.6ES660-PSU4直流電源：高電流PSU (30V/25A X 1 Ch)
3.7ES660-PSU5直流電源： 3通道 PSU (30V/6A X 2 Ch，5V/3A X 1 Ch，或 60V/6A X 1 Ch)
3.8ES660-PSU7直流電源： 雙量程 PSU (100V/1A, 或 30V/5A)
3.9ES660-PSU-MC1多通道PSU: 主框架, 帶示波器
3.10ES660-PSUC1多通道PSU: 50V, 5A, 50W模塊
3.11ES660-PSUC2多通道PSU: 50V, 10A, 100W模塊
3.12ES660-PSUC3多通道PSU: 60V, 5A, 300W模塊
3.13ES660-PSUC4多通道PSU: 100V, 1A, 100W模塊
3.14ES660-PSUC5多通道PSU: 100V, 3A, 300W模塊
3.15ES660-PSUC6多通道PSU: 150V, 2A, 300W模塊
測(cè)試插座選項(xiàng)
4.1ES660-P1-DS512DUT 插座 PCB 512 針
4.2ES660-P1-DS1024DUT 插座 PCB 1024 針
4.3ES660-P1-DSC1DUT 插座 PCB 定制引腳數(shù)
示波器選項(xiàng)
5.1MISC-OSC350數(shù)字示波器（ 350 MHz， 4 通道）
5.2MISC-OSC1Digital Oscilloscope (1 GHz, 5 GS/s, 4 Ch)
5.3CT-T03-1p0寬帶電流探頭，1V/A，2kHz – 2GHz


注: 母板，矩陣卡，波形板和自校驗(yàn)診斷板屬于設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)配置，因此不體現(xiàn)在訂購(gòu)信息中。

ES660 靜電放電和閂鎖測(cè)試系統(tǒng)


 
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